真空镀膜机初阀连接结构

摘要

本实用新型公开了真空镀膜机初阀连接结构，它包含真空室腔体、主阀腔体、初阀、主阀、前阀和泵组，所述初阀连接真空室腔体，并设置在真空室腔体上方，所述主阀设置在主阀腔体上，主阀腔体一侧连接前阀，前阀连接泵组，所述泵组通过初阀管道连接初阀，初阀管道中部设有支管连接主阀腔体。本实用新型的有益效果：把初阀设置在真空室腔体上方，设备工作时的气体不会经过主阀腔体抽出，而是直接在真空室腔体上端抽出，减少对主阀腔体的污染，也减轻对主阀气缸活塞杆的污染，提高密封圈使用寿命。

主权项

真空镀膜机初阀连接结构，它包含真空室腔体、主阀腔体、初阀、主阀、前阀和泵组，所述初阀连接真空室腔体，并设置在真空室腔体上方，所述主阀设置在主阀腔体上，主阀腔体一侧连接前阀，前阀连接泵组，所述泵组通过初阀管道连接初阀，初阀管道中部设有支管连接主阀腔体。