一种托盘紧固装置及等离子体加工设备

摘要

本发明提供一种托盘紧固装置和等离子体加工设备。托盘紧固装置用于将被加工工件固定在托盘的承载面以及将托盘固定在支撑台的上表面，所述托盘紧固装置包括：紧固件和施力单元，所述紧固件与所述托盘具有相同的形状，所述紧固件上设有第一通孔，所述第一通孔的内径小于所述被加工工件的外径，而且所述第一通孔与托盘上所述被加工工件的位置相对；所述紧固件与所述施力单元连接，在所述施力单元的驱动下，所述紧固件与所述托盘叠置并挤压所述托盘，从而将所述托盘固定在所述支撑台的上表面，同时将所述被加工工件固定在所述托盘与紧固件之间。该紧固装置可简化装片过程，提高装片的效率。

主权项

一种托盘紧固装置，其特征在于，用于将被加工工件固定在托盘的承载面以及将托盘固定在支撑台的上表面，所述托盘紧固装置，包括：紧固件和施力单元，其中：所述紧固件与所述托盘具有相同的形状，所述紧固件上设有第一通孔，所述第一通孔的内径小于所述被加工工件的外径，而且所述第一通孔与托盘上所述被加工工件的位置相对；所述紧固件与所述施力单元连接，在所述施力单元的驱动下，所述紧固件与所述托盘叠置并挤压所述托盘，从而将所述托盘固定在所述支撑台的上表面，同时将所述被加工工件固定在所述托盘与紧固件之间。