光刻蚀设备上的防护门

摘要

本实用新型提供一种光刻蚀设备上的防护门，其至少包括：门体；与所述门体相连、且用于驱动所述门体打开/闭合的气缸，其中，所述气缸中的活塞将所述气缸的内腔分成第一腔体和第二腔体，在第一腔体充气时，所述活塞驱动所述门体闭合，在所述第二腔体充气时，所述活塞驱动所述门体打开，其中，位于围成所述第一腔体的气缸侧壁上设有通孔；以及一侧堵住所述通孔且另一侧相距所述通孔固定距离的弹性部件。本实用新型通过在所述第一腔体上设置泄气通孔，并在所述通孔处安装弹性部件，能够以极简便的方式来改造现有的防护门，以防止所述防护门在闭合时夹到手臂或者光罩模板等。

主权项

一种光刻蚀设备上的防护门，其特征在于，至少包括：门体；与所述门体相连、且用于驱动所述门体打开/闭合的气缸，其中，所述气缸中的活塞将所述气缸的内腔分成第一腔体和第二腔体，在第一腔体充气时，所述活塞驱动所述门体闭合，在所述第二腔体充气时，所述活塞驱动所述门体打开，其中，位于围成所述第一腔体的气缸侧壁上设有通孔；以及一侧堵住所述通孔且另一侧相距所述通孔固定距离的弹性部件。