Waferstart-Prozesse und Systeme für die Herstellung integrierter Schaltungen

摘要

Es wird ein Waferstart-Prozess für die Herstellung integrierter Schaltungen bereitgestellt, der ein Eingeben einer Bestellinformation bezüglich angeforderter Wafer in einen Computer mittels einer Dateneingabeschnittstelle des Computers umfasst. Es wird ein Container bereitgestellt, der bereitgestellten Wafer umfasst und ein damit assoziiertes maschinenlesbares Medium aufweist. Das maschinenlesbare Medium ist mit Waferdaten bezüglich der bereitgestellten Wafer codiert. Die Waferdaten des maschinenlesbaren Mediums werden in den Computer eingegeben, Die Bestellinformation und die Waferdaten werden im Computer verglichen und es wird eine verifizierte Datenmenge im Computer angelegt, wenn der Computer eine Entsprechung der bereitgestellten Wafer im Container mit den angeforderten Wafern in der Bestellinformation feststellt. Die verifizierte Datenmenge wird in einem Speichermedium durch den Computer gespeichert. Die bereitgestellten Wafer werden nach der Erzeugung der verifizierten Datenmenge von dem Container auf einen FOUP übertragen.