非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置

摘要

本实用新型涉及一种非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置。 本非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置，包括电极头防水装置和特气口防水装置，电极头防水装置包括用于密封电极头的中间可开合的长方体壳体，长方体壳体包括上壳体和下壳体，上壳体前面下端开有N个上半圆形孔，下壳体前面上端开有与N个上半圆形孔相匹配的可组合成N个圆形孔的N个下半圆形孔。本实用新型非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置，设计科学、分别捆扎每一个电极头，捆扎较严，清洗过程不会出现电极头进水的情况，不影响电极头使用寿命，避免电极杆氧化现象发生；另外，不会刮破电极头、不影响预热和沉积工艺，此外，不会磨损特气口、且防止因磨损导致连接不良。

主权项

一种非晶硅薄膜太阳能PECVD基片装载箱的防水装置，其特征在于：包括电极头防水装置和特气口防水装置，所述电极头防水装置包括用于密封电极头的中间可开合的长方体壳体，所述长方体壳体包括上壳体（1）和下壳体（2），所述上壳体（1）前面下端开有N个上半圆形孔（3），所述下壳体（2）前面上端开有与所述N个上半圆形孔（3）相匹配的可组合成N个圆形孔的N个下半圆形孔（4）。