发明名称 半导体器件及其形成方法
摘要 本发明涉及半导体器件及其形成方法。一种形成半导体器件的方法包括:形成场效应晶体管(FET),以及形成包括石墨烯层并且电连接到所述FEF的熔丝。
申请公布号 CN103578955A 申请公布日期 2014.02.12
申请号 CN201310314122.3 申请日期 2013.07.24
申请人 国际商业机器公司 发明人 朱文娟
分类号 H01L21/28(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I;H01L29/417(2006.01)I 主分类号 H01L21/28(2006.01)I
代理机构 北京市中咨律师事务所 11247 代理人 于静;张亚非
主权项 一种形成半导体器件的方法,包括:形成场效应晶体管(FET);以及形成包括石墨烯层并且电连接到所述FET的熔丝。
地址 美国纽约