抛物面反射镜评价装置以及抛物面反射镜的评价方法

摘要

提供一种能够简单的评价抛物面反射镜的精度的抛物面反射镜评价装置以及抛物面反射镜的评价方法。该抛物面反射镜评价装置具有：夹具（2），其固定反射构件（1），且具有圆形的开口（21），该反射构件（1）具有圆柱部分（10），并在圆柱部分（10）的端面的中心设置有抛物面反射镜（13）的开口，圆形的开口（21）具有和反射构件（1）的圆柱部分（10）的外周大致相同的内周，反射构件（1）的圆柱部分（10）被插入开口（21）；和光源保持构件（3），其用于将光源配置在抛物面反射镜（13）的设计上的第一焦点位置，该抛物面反射镜（13）的设计上的第一焦点位置位于通过夹具（2）的圆形的开口（21）的中心的法线上。

主权项

一种抛物面反射镜评价装置，其特征在于，具有：夹具，其固定反射构件，且具有圆形的开口，该反射构件具有圆柱部分，并在所述圆柱部分的端面的中心设置有抛物面反射镜的开口，所述圆形的开口具有和所述反射构件的圆柱部分的外周大致相同的内周，所述反射构件的圆柱部分被插入所述开口中；和光源保持构件，其用于将光源配置在所述抛物面反射镜的设计上的第一焦点位置，所述抛物面反射镜的设计上的第一焦点位置位于通过所述夹具的圆形的开口的中心的法线上。