金属化学气相沉积设备及其反应腔室

摘要

一种化学气相沉积反应腔室以及具有该反应腔室的金属化学气相沉积设备，所述化学气相沉积反应腔室包括进气系统、感应线圈、排气系统和托盘，所述感应线圈设置在反应腔室的外部，用于加热反应腔室内部的托盘，其特征在于，所述托盘具有容纳腔，所述容纳腔内设置有散热器。根据本发明的化学气相沉积反应腔室和金属化学气相沉积设备，在托盘的容纳腔内设有散热器对托盘进行散热，增强了托盘的散热效率，使托盘快速降温，提高了工作效率，而且无需向反应腔室内通入冷却气体，进而避免了反应腔室内产生颗粒而污染基片。由于散热器容纳在密闭的容纳腔内，因此散热器不会影响反应腔室内的工艺气体的纯度，能够更好的保证化学气相沉积的工艺效果。

主权项

一种化学气相沉积反应腔室，包括进气系统、感应线圈、排气系统和托盘，所述感应线圈设置在反应腔室的外部，用于加热反应腔室内部的托盘，其特征在于，所述托盘具有容纳腔，所述容纳腔内设置有散热器。