发明名称 |
真空高温烘烤炉的放置台面 |
摘要 |
本实用新型公开了一种真空高温烘烤炉的放置台面,包括腔体内壁、内隔热层和充压孔,内隔热层位于腔体内壁的内部,充压孔设置在腔体内壁上部,穿过腔体内壁与内隔热层的下部设置有下排气孔,下排气孔连接外部排气管道,排气管道为T型管道,位于排气管道的支路上分别设置有主抽阀和小流量阀,且排气管道上还分别设置有两个侧排气孔,且其中一个侧排气孔伸入到腔体内壁内,位于内隔热层内部以及下排气孔上方设置有加热件,所述加热件的内部设置有石墨平台,所述石墨平台上设置有石墨架。本台面的设置不仅提高了产品的质量,而且提高了作业效率。 |
申请公布号 |
CN203429250U |
申请公布日期 |
2014.02.12 |
申请号 |
CN201320531850.5 |
申请日期 |
2013.08.28 |
申请人 |
晶旺光电(徐州)有限公司 |
发明人 |
孟祥好;夏友龙;孙统畅;孙益鹏 |
分类号 |
C23C16/44(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/44(2006.01)I |
代理机构 |
徐州支点知识产权代理事务所(普通合伙) 32244 |
代理人 |
张荣亮 |
主权项 |
一种真空高温烘烤炉的放置台面,包括腔体内壁(1)、内隔热层(2)和充压孔(3),所述内隔热层(2)位于腔体内壁(1)的内部,充压孔(3)设置在腔体内壁(1)上部,其特征在于:穿过腔体内壁(1)与内隔热层(2)的下部设置有下排气孔(4),所述下排气孔(4)连接外部排气管道,所述排气管道为T型管道,位于排气管道的支路上分别设置有主抽阀(5)和小流量阀(7),且排气管道上还分别设置有两个侧排气孔(6),且其中一个侧排气孔(6)伸入到腔体内壁(1)内;位于内隔热层(2)内部以及下排气孔(4)的上方设置有加热件(10),所述加热件(10)的内部设置有石墨平台(8),所述石墨平台(8)上设置有石墨架(9)。 |
地址 |
221000 江苏省徐州市经济开发区徐海路99号 |