偏振测量方法、偏振测量装置、偏振测量系统及光配向照射装置

摘要

本发明提供一种偏振测量方法、偏振测量装置、偏振测量系统及光配向照射装置，用于高精度地测量偏振光的偏振特性。偏振测量方法包括：基于使检测侧偏振器转动的同时测得的依次透过了检测线栅偏振器及检测侧偏振器的光在各转动角度下的光的光量，求解表示所述检测侧偏振器旋转时的所述光量的周期性变化的变化曲线；以及在基于该变化曲线确定透过了所述线栅偏振器的偏振光的偏振特性时，基于所述转动角度下的所述光量，求解所述变化曲线；其中所述转动角度（θ）包含在包含所述变化曲线的构成一个极小点的转动角度（θ）＝（θa）且所述光量（I）为规定值以下的所述转动角度（θ）的范围（Ｗ）内。

主权项

一种偏振测量方法，其特征在于，包括：第一步骤，基于使第二偏振器转动的同时测得的依次透过了第一偏振器及所述第二偏振器的光在各转动角度下的光的光量，求解表示所述第二偏振器旋转时的所述光量的周期性变化的变化曲线；以及第二步骤，基于在所述第一步骤中求解出的变化曲线确定透过了所述第一偏振器的偏振光的偏振特性，在所述第一步骤中，基于所述转动角度的如下范围内包含的所述转动角度下的所述光量,求解所述变化曲线，所述转动角度的该范围内包含所述变化曲线的一个极小点且所述光量为规定值以下。