| 发明名称 | 控制无源器件的电气性质的方法及集成元件 | ||
| 摘要 | 本发明实施例提供一种控制无源器件的电气性质的方法及集成元件，其中该方法包括：提供基板；在该基板上制造无源器件；测量该无源器件的电气性质以获得测量结果；根据该测量结果确定对应于至少一后期制造工序的至少一个布局图案，以调整该无源器件的电气性质；继续进行包括该至少一后期制造工序在内的该集成元件的剩余制造过程。本发明实施例可以对无源器件的电气性质进行控制与调整，以降低制程变异带来的影响。 | ||
| 申请公布号 | CN103579039A | 申请公布日期 | 2014.02.12 |
| 申请号 | CN201310321474.1 | 申请日期 | 2013.07.29 |
| 申请人 | 联发科技股份有限公司 | 发明人 | 蔡明达;简敦正;洪建州 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;H01L21/82(2006.01)I;H01L23/52(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京万慧达知识产权代理有限公司 11111 | 代理人 | 杨颖;张金芝 |
| 主权项 | 一种控制无源器件的电气性质的方法，在集成元件的制造过程中进行，其特征在于，包含：提供基板；在该基板上制造无源器件；测量该无源器件的电气性质以获得测量结果；根据该测量结果确定对应于至少一后期制造工序的至少一个布局图案，以调整该无源器件的电气性质；继续进行包括该至少一后期制造工序在内的该集成元件的剩余制造过程。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹科学工业园区新竹市笃行一路一号 | ||