基板传送装置

摘要

本发明提供一种基板传送装置，适用于传输一基板。基板传送装置包含一载具、一驱动装置、一滑轨组与一滑块组。载具用于承载基板。驱动装置提供传输基板所需的动力。滑轨组与滑块组设置于载具与驱动装置之间。滑轨组与滑块组可相对移动。滑轨组具有一第一滑轨与一第二滑轨。定义滑轨组的一第一区段及一第二区段。当基板位于滑轨组的第一区段时，则基板宽度为一第一宽度。当基板位于滑轨组的第二区段时，则基板宽度为一第二宽度。其中第一宽度不同于第二宽度。当基板在滑轨组的第一区段与第二区段之间移动时，基板的表面张力被改变。

主权项

一种基板传送装置，适用于传输一基板，其特征在于，该基板传送装置包含：一载具，该载具用于承载该基板；一驱动装置，该驱动装置提供传输该基板所需的动力；一滑轨组与一滑块组，该滑轨组与该滑块组设置于该载具与该驱动装置之间，且该滑轨组与该滑块组能够相对移动，该滑轨组具有一第一滑轨与一第二滑轨，定义该滑轨组的一第一区段为该第一滑轨与该第二滑轨之间相隔一第一距离的区段，定义该滑轨组的一第二区段为该第一滑轨与该第二滑轨之间相隔一第二距离的区段，该第一距离与该第二距离不同；其中，该驱动装置凭借该滑轨组与该滑块组而驱动该载具与该基板沿该输送方向移动；当该基板位于该滑轨组的该第一区段时，则该基板宽度为一第一宽度；当该基板位于该滑轨组的该第二区段时，则该基板宽度为一第二宽度，其中该第一宽度不同于该第二宽度；当该基板在该滑轨组的该第一区段与该第二区段之间移动时，该基板的表面张力被改变。