微影装置及元件制造方法

摘要

本发明揭示一种判定一微影装置之一图案化元件之较高阶失真的方法，及关联装置。使用透射成像元件来量测该等较高阶失真。在一主要实施例中，使用增强型光罩，该等光罩可在周边中、在影像场之切割道中或在该影像场自身中具有额外对准光栅。