使用扫描探针显微镜扫描样本的方法及设备

摘要

一以扫描探针显微镜扫描样本的方法及设备，包括按照至少一个扫描参数扫描该样本的表面，以获得到对应于该表面的资料，并实质地自动识别该表面中的转变。根据该所识别的转变，该样本被再扫描。较佳是，以再扫描该转变所获得到的资料来修改该所得到的资料。