基板涂布装置

摘要

一种基板涂布装置包含一承载台、一取放单元、一气泵单元、一涂布单元，及一控制单元。该承载台包括一供一基板设置的吸附区及至少一空气通道。该空气通道于该吸附区的表面形成多数间隔设置的开口。该取放单元用以将该基板取放于该吸附区。该气泵单元包括一气泵及一三通电磁阀。该三通电磁阀的其中二端口分别藉由一管路连通该空气通道及该气泵，另一端口与外界大气相连通。该涂布单元用以于该基板上形成一涂布层。该控制单元电连接该取放单元、该气泵单元及该涂布单元。