有机金属化合物

摘要

本发明系有关一种如化式HaM(NR1R2)x(NR3H)y(NH2)z所示之有机金属化合物，其中M是金属或准金属，R1、R2和R3相同或不同地各自独立地为烃基或含杂原子的基团，a是0至3之数值，x是0至3之数值，y是0至4之数值，z是0至4之数值，及a＋x＋y＋z等于M的氧化态，其先决条件是y和Z中至少一者是至少1之数值，一种制备该有机金属化合物之方法，及一种由有机金属前驱化合物制备薄膜或涂层之方法。