用于生长外延结构的掩模及其使用方法

摘要

本发明涉及一种用于生长外延结构的掩模及其使用方法。该掩模包括：一奈米碳管层，且该奈米碳管层具有复数个开口，从而使得基底的外延生长面可以通过该复数个开口部分暴露，通过该掩模使外延层从所述基底的外延生长面通过该开口暴露的部分生长。本发明进一步提供一种上述掩模的使用方法。