制作可补偿径向失准之分子黏附键结之方法

摘要

利用分子黏附将一第一晶圆(100)键结至一第二晶圆(200)之方法，该些晶圆之间具有一初始径向失准(DR)。该方法包含有将两晶圆(100，200)带至相接触以便启始两晶圆之间的键结波之前递之至少一步骤。依据本发明，在接触步骤期间，作为初始径向失准(DR)之函数的一预先设定之键结曲率(KB)被加至两晶圆中之至少其一之上。