叠层加热器用之高功率电连接器

摘要

一种电连接器，包含一非导电外壳及一安装于该外壳内的弹簧载入之导电组件。该非导电外壳具有一纵轴，该弹簧载入之导电组件可沿该纵轴而在任一方向上移动一有限范围。该导电组件包含一导电接触垫及一导电延长轴，其在该非导电外壳内配接在一起。沿接触轴安装并与此相接界之一弹簧，沿远离接触基部之方向偏压接触轴。当在具有整合叠层加热器之腔室帽盖组件的腔室帽盖中采用该电连接器时，例如结合一晶圆处理室使用，弹簧偏压该接触轴之下表面对抗该加热器。