一种具有多个半透射部分之半色调网点光罩及其制造方法

摘要

本发明揭示一种具有多个半透射部分之半色调网点光罩及其制造方法，其藉由具有至少两个或更多光透射率彼此不同之半透射部分，能用单一光罩型样化复数个层。该具有多个半透射部分之半色调网点光罩包含：一透明基板；一形成于该透明基板上用以透射预定工作波段之雷射光束之光透射部分；一形成于该透明基板上用以遮罩该预定工作波段之雷射光束之光遮罩部分；及至少两个或更多个半透射部分，该等半透射部分藉由沈积半透射材料于该透明基板上而形成，其以各自不同之光透射率通过该预定工作波段之雷射光束。