| 发明名称 |
SINTERED MATERIAL, AND PROCESS FOR PRODUCING SAME |
| 摘要 |
<p>A sintered body which includes at least indium oxide and gallium oxide and comprises voids each having a volume of 14000 mum3 or more in an amount of 0.03 vol % or less.</p> |
| 申请公布号 |
KR20140015390(A) |
申请公布日期 |
2014.02.06 |
| 申请号 |
KR20137024933 |
申请日期 |
2012.03.26 |
| 申请人 |
IDEMITSU KOSAN CO., LTD. |
发明人 |
TOMAI SHIGEKAZU;MATSUZAKI SHIGEO;YANO KOKI;ANDO MAKOTO;EBATA KAZUAKI;ITOSE MASAYUKI |
| 分类号 |
C23C14/34;C04B35/00;H01L21/363 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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