| 发明名称 |
SPUTTERING PROCESS FOR PREPARING STABLE THIN FILM RESISTORS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CA898185(A) |
申请公布日期 |
1972.04.18 |
| 申请号 |
CAD898185 |
申请日期 |
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| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
EMANUEL STERN |
| 分类号 |
H01C7/06;H01C17/12;H01J37/34;(IPC1-7):H01C7/06 |
主分类号 |
H01C7/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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