发明名称 Vorrichtung und Verfahren zum Zerkleinern eines polykristallinen Siliciumstabs
摘要 Gegenstand der Erfindung ist eine Vorrichtung zum Zerkleinern eines polykristallinen Siliciumstabs, umfassend eine Unterlage sowie wenigstens einen beweglichen Zerkleinerungsmeißel und wenigstens einen unbeweglichen Amboss, wobei der wenigstens eine Zerkleinerungsmeißel eine Längsachse besitzt, die parallel oder nahezu parallel zur Oberfläche der Unterlage ausgerichtet ist, wobei ein auf der Oberfläche der Unterlage liegender, zu zerkleinernder Siliciumstab jeweils zwischen Zerkleinerungsmeißel und Amboss derart justiert werden kann, dass Zerkleinerungsmeißel und Amboss jeweils im Bereich des Siliciumstabs Kontakt zum Siliciumstab besitzen können und jeweils ein Anlagepunkt von Siliciumstab und Amboss sowie eine durch ein Stabzentrum verlaufende Querachse des Siliciumstabs oder eine zu jener Querachse parallele und um bis zu 30% eines Stabdurchmessers vom Stabzentrum beabstandete Achse des Siliciumstabs auf der Längsachse des Zerkleinerungsmeißels oder auf einer zur Längsachse des Zerkleinerungsmeißels parallelen und um bis zu 30% des Stabdurchmessers von der Längsachse des Zerkleinerungsmeißel beabstandeten Achse liegen. Ein weiterer Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zum Zerkleinern eines polykristallenen Siliciumstabs.
申请公布号 DE102012213565(A1) 申请公布日期 2014.02.06
申请号 DE201210213565 申请日期 2012.08.01
申请人 WACKER CHEMIE AG 发明人 MATTES, JOACHIM;RIESS, SIEGFRIED;GRUEBL, PETER
分类号 B02C19/08 主分类号 B02C19/08
代理机构 代理人
主权项
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