| 摘要 |
Verfahren zur Beschichtung eines Substrats (8) mit mehreren Materialschichten (21, 22, 23, 24, 25, 26, 27) aus wenigstens zwei unterschiedlichen Materialien (1, 2, 3, 4, 5, 6, 7), wobei die Materialschichten (21, 22, 23, 24, 25, 26, 27) auf dem Substrat (8) mittels einer hinsichtlich der Materialabgaberate steuerbaren Materialabgabeeinrichtung erzeugt werden, wobei die Materialabgabeeinrichtung eine Mehrmaterialienabgabeeinrichtung (19) ist, Vorratsmengen der wenigstens zwei unterschiedlichen Materialien (1, 2, 3, 4, 5, 6, 7) gleichzeitig in der Mehrmaterialienabgabeeinrichtung (19) vorgehalten werden und die wenigstens zwei unterschiedlichen Materialien (1, 2, 3, 4, 5, 6, 7) durch Steuerung der Mehrmaterialienabgabeeinrichtung (19) von dieser in der gewünschten Reihenfolge auf dem Substrat (8) abgeschieden werden, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorratsmengen der wenigstens zwei unterschiedlichen Materialien (1, 2, 3, 4, 5, 6, 7) in der Mehrmaterialienabgabeeinrichtung (19) in derselben Vorratskammer (13) aneinander gestapelt in Feststoffform bereitgehalten werden. |
