一种新型晶边检测仪稳定性的监控方法

摘要

本发明公开一种新型晶边检测仪稳定性的监控方法，选取一片合适的成品晶片，该片具有一定数目的不同类型和尺寸的缺陷固定在表面,并且该片不再做其它工艺流程，作为以后该机台检测的新基准片。在日常检测时将三个面的扫描图分别与成品晶片转换成的基准片原始图进行叠图,将叠到的具有相同坐标位置的缺陷的数目作为计算捕获率的值，将没叠到的缺陷的数目作为计算失败率的值。通过三个面的捕获率和失败率这六个值可以更加直观的检测到机台在不同位面缺陷收集信号的能力以及机台的稳定性和精确性。

主权项

一种新型晶边检测仪稳定性的监控方法，用于确定所述晶边检测仪是否能够正常工作，其特征在于，包括如下步骤：提供一成品晶片作为基准片，所述基准片的正面、背面及其圆周侧面上均有多个不同尺寸、类型的缺陷；分别制作多张所述基准片的正面、背面及其圆周侧面的缺陷扫描图；分别制作正面原始图、背面原始图以及圆周侧面原始图，所述正面原始图上包括部分所述基准片正面陷扫描图上的缺陷，所述背面原始图上包括部分所述基准片背面陷扫描图上的缺陷，所述圆周侧面原始图上包括部分所述基准片圆周侧面陷扫描图上的缺陷；进行日常检测，将日常扫描图与原始图叠图，将具有相同坐标的缺陷汇总求和，将增加的缺陷汇总求和；分别对晶圆晶边的正面、背面及其圆周侧面进行的相关的捕获率和失败率计算，并根据计算结果判断结束监控还是停机检查；其中，所述捕获率的计算公式为：捕获率=日常检测中具有相同坐标的缺陷汇总数量/原始图上的缺陷数量*100%；所述失败率的计算公式为：失败率=日常监测中增加的缺陷汇总数量/原始图上的缺陷数量*100%。