发明名称 |
固化框胶用遮光罩的制作方法 |
摘要 |
本发明提供一种固化框胶用遮光罩的制作方法,包括以下步骤:步骤1、提供一透明基板(20);步骤2、在透明基板(20)上依次形成金属层(22)及光阻层(24);步骤3、在光阻层(24)的边缘位置进行曝光,以形成检测标记(242);步骤4、采用边曝光方式,按照预定路径对光阻层(24)进行曝光,所述预定路径对应液晶显示面板的框胶预设路径;步骤5、去除被曝光的光阻层(24),以露出金属层(22);步骤6、对露出的金属层(22)进行蚀刻,并去除未曝光的光阻层(24);步骤7、在金属层(22)与透明基板(20)上形成透明保护层(26)。本发明通过边曝光方式实现对光阻层的曝光,不需要特定的掩模板,有效减少掩模板的预备量,降低生产材料成本。 |
申请公布号 |
CN103553362A |
申请公布日期 |
2014.02.05 |
申请号 |
CN201310483206.X |
申请日期 |
2013.10.15 |
申请人 |
深圳市华星光电技术有限公司 |
发明人 |
莫超德;李春良 |
分类号 |
C03C17/36(2006.01)I |
主分类号 |
C03C17/36(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市德力知识产权代理事务所 44265 |
代理人 |
林才桂 |
主权项 |
一种固化框胶用遮光罩的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1、提供一透明基板(20);步骤2、在透明基板(20)上依次形成金属层(22)及光阻层(24);步骤3、在光阻层(24)的边缘位置进行曝光,以形成检测标记(242);步骤4、采用边曝光方式,按照预定路径对光阻层(24)进行曝光,所述预定路径对应液晶显示面板的框胶预设路径;步骤5、去除被曝光的光阻层(24),以露出金属层(22);步骤6、对露出的金属层(22)进行蚀刻,并去除未曝光的光阻层(24);步骤7、在金属层(22)与透明基板(20)上形成透明保护层(26)。 |
地址 |
518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号 |