局部分级深度材料光栅超慢太赫兹波导

摘要

本实用新型涉及金属或半导体光栅、波导技术领域，为解决太赫兹波低速传输的问题，精确控制太赫兹波传输速率，且结构简单，结果精确可控，具有可操作性，为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是，局部分级深度材料光栅超慢太赫兹波导，在局部分级深度材料表面刻写有周期形式的凹槽，凹槽深度一部分固定不变，另一部分分级变化，具体为前半段太赫兹传播起始阶段为渐变深度，后半段凹槽深度固定不变。本实用新型主要应用于太赫兹波低速传输。

主权项

一种局部分级深度材料光栅超慢太赫兹波导，其特征是，在局部分级深度材料表面刻写有周期形式的凹槽，凹槽深度一部分固定不变，另一部分分级变化，具体为前半段太赫兹传播起始阶段为渐变深度，后半段凹槽深度固定不变。