一种自动对准的双模式波前传感器及测量方法

摘要

本发明公开了一种自动对准的双模式波前传感器及测量方法，包括扩束比小于1的大口径准直系统、半透明反射镜、微透镜阵列哈特曼波前传感器和微柱状透镜阵列哈特曼波前传感器；所述半透明反射镜设置在准直系统的输出光信号的光路上，穿过半透明反射镜的光作为微透镜阵列哈特曼波前传感器的入射光，被半透明反射镜反射的光作为微柱状透镜阵列哈特曼波前传感器的入射光。本发明提供的自动对准的双模式波前传感器，结构简单、性能稳定、且价格低廉，基于传统哈特曼波前传感器的技术并能够提升传统哈特曼波前传感器的动态测量范围和测量精度。

主权项

一种自动对准的双模式波前传感器，其特征在于：包括扩束比小于1的准直系统、半透明反射镜（4）和双模式哈特曼波前传感器，所述双模式哈特曼波前传感器包括微透镜阵列哈特曼波前传感器和微柱状透镜阵列哈特曼波前传感器；所述半透明反射镜（4）设置在准直系统的输出光信号的光路上，穿过半透明反射镜（4）的光作为微透镜阵列哈特曼波前传感器的入射光，被半透明反射镜（4）反射的光作为微柱状透镜阵列哈特曼波前传感器的入射光。