| 发明名称 | 金属或/和金属氧化物同心圆环微纳结构直写方法 | ||
| 摘要 | 金属或/和金属氧化物同心圆环微纳结构直写方法，属于光电子材料及器件技术领域。紫外激光通过球面透镜会聚后直接作用于金属或/和金属氧化物薄膜上通过灼蚀方法直接写出尺寸可控的同心圆环微纳结构，实现图案化的一种新的制备技术。本发明方法具有成本低、效率高、重复性好等优点。 | ||
| 申请公布号 | CN103553364A | 申请公布日期 | 2014.02.05 |
| 申请号 | CN201310517970.4 | 申请日期 | 2013.10.28 |
| 申请人 | 北京工业大学 | 发明人 | 翟天瑞;张新平;刘红梅;王丽 |
| 分类号 | C03C23/00(2006.01)I | 主分类号 | C03C23/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人 | 张慧 |
| 主权项 | 金属/金属氧化物同心圆环微纳结构直写方法，其特征在于，包括以下步骤：1)在基底上制备一层金属或/和金属氧化物薄膜；2)将激光束用球面透镜会聚，其焦点与连续金属或/和金属氧化物膜作用，使得由透镜球差形成的同心圆环图案亮条纹区的金属或/和金属氧化物薄膜在瞬间被灼蚀掉，而留下未曝光区，形成同心圆环微纳结构。 | ||
| 地址 | 100124 北京市朝阳区平乐园100号 | ||