用于TEM的改进相位板

摘要

本发明涉及供电子显微镜中使用的相位板，更具体来说涉及泽尔尼克类型相位板。这种相位板包括中心孔以及引起经过所述膜的电子的相移的薄膜。这个相移使CTF从正弦状函数改变成余弦状函数。这个现有技术类型相位板的一个缺点在于，许多电子通过相位板从射束散射。这个现有技术相位板的另一个缺点在于，对于其中余弦状函数呈现最小数的频率范围，相位板的使用实际上使CTF降级，因为正弦状函数呈现最大数。因此，按照本发明的相位板配备有采取由薄得多的膜(30)所承载的环带(32)形式的膜。因此，仅在小空间频率范围(对于低频率)，改变相位(并且因此改变CTF)，以及对于其它空间频率，相移是可忽略的，并且因而CTF300保持不变。由于承载膜30的小得多的厚度，散射也是可忽略的。

主权项

一种适合于电子显微镜(100)的相位板(118)，所述显微镜适合生成电子束，工作中的所述电子束经过样本(108)，工作中的所述电子束在经过所述样本之后分成非衍射射束和衍射射束，工作中的所述样本在工作中的所述非衍射和所述衍射射束进行干涉以形成图像的图像平面中成像，所述相位板放置在其中聚焦工作中的所述非衍射和所述衍射射束的平面中，所述相位板包括：‑   中心区域(26)，工作中的所述中心区域引起第一相移，‑   第一薄膜(32)，围绕并且毗接所述中心区域，工作中的所述第一薄膜引起与所述第一相移不同的第二相移，支架结构(20)，围绕所述第一薄膜，适合于支撑所述相位板，工作中的第一相移与第二相移之间的差对于空间频率范围引起所述图像的对比度的改进，其特征在于‑   所述第一薄膜(32)和另一薄膜(30)形成为同心环带，形成所述另一薄膜的所述环带围绕并且毗接形成所述第一薄膜的所述环带，所述环带的中心与所述中心区域的中部重合，‑   在所述第一薄膜(32)与所述支架结构(20)之间，存在至少一个另一薄膜(30)，工作中的所述另一薄膜引起与所述第二相移不同的另一相移，与所述另一相移等于所述第二相移的情况相比，工作中对于空间频率的另一范围的第一相移与另一相移之间的差引起所述图像的所述对比度的改进。