晶圆翻转装置

摘要

一种晶圆翻转装置，系设置于两个晶圆承载装置之输送带间，该输送带系用于承载运送晶圆，而该晶圆翻转装置系包括了一晶圆翻转架及一驱动装置，其中该晶圆翻转架系包含有一组翻转轮片，而该组翻转轮片系跨设于输送带间，且该组翻转轮片系具有复数扇面，并于该相邻扇面之间形成复数个槽位，用以提供晶圆置放而形成至少一容置晶圆空间；另外该晶圆翻转架系透过一中轴呈放射状设置该翻转轮片，而该驱动机构能够用以驱动该中轴而带动翻转轮片转动，并进一步带动该晶圆翻转架作动。