经减少周期时间之制造厚膜电阻装置的方法

摘要

本发明提供一种形成如负载电阻器或一加热器之电阻装置的方法，其包括在一基板、一标靶、或一相邻功能层上形成一介电层，其中一种形态之该介电层界定出一单一层介电带体。该介电带体经过压力、温度与时间之单一预定周期积层至该基板、该标靶、或该相邻功能层上，且接着将一电阻层形成在该介电层上，并且将一保护层形成在该电阻层上方。