用于制造母版之方法及用于制造光碟之方法

摘要

本发明揭示一种制造一母版之方法，其包含以下步骤：在一形成母版之基板上形成一无机光阻层，及在该无机光阻层之一表面上形成含有一高折射率材料之一保护薄膜，该高折射率材料具有一折射率n，该折射率满足n≧一曝光光学系统之NA，且该高折射率材料系混合于一光透射材料中；使用一曝光光学系统对该保护薄膜执行具有NA>1的近场曝光；分离该保护薄膜与经受该曝光之一无机光阻母版；及藉由该保护薄膜与其分离之该无机光阻母版的显影而形成一包含曝光部分与非曝光部分的凸出/凹入图案。