立式热处理设备之石英构件上沉积之金属污染物的移除

摘要

兹提供一种用于移除沉积在半导体制程用之立式热处理设备之石英构件上之金属污染物的方法，该石英构件系选自于由反应管、晶舟、及热绝缘圆筒所组成之群组。此方法包含：获得未附接至立式热处理设备之石英构件；然后，使用稀释氢氟酸来施行清理石英构件之稀释氢氟酸清理；然后，使用净化水来施行清理石英构件之第一净化水清理；然后，使用氢氯酸来施行清理石英构件之氢氯酸清理；及然后，使用净化水来施行清理石英构件之第二净化水清理。