一种光纤微机电水听器及其制作方法

摘要

本发明涉及一种光纤微机电水听器及其制作方法。该光纤微机电水听器由硅基MEMS声压传感微结构与光纤尾纤两部分组成，其中MEMS声压传感微结构包括了氧化硅传感薄膜与硅基尾纤卡槽结构，尾纤通过硅基尾纤卡槽结构与传感微结构实现装卡，尾纤端面与氧化硅传感薄膜构成了法布里-珀罗干涉系统从而实现对声压信号的传感与监测。其制作方法是在正面长有氧化硅传感薄膜及氮化硅薄膜的硅片背面，通过反应离子刻蚀工艺形成以氧化硅传感薄膜为底面的圆形凹槽，采用氧等离子体清洗工艺去除圆形凹槽侧壁的钝化层，再使用反应离子刻蚀工艺，刻蚀形成尾纤卡槽结构，通过精密机械调节装置将尾纤插入尾纤卡槽结构，再由环氧树脂胶粘连固定。

主权项

一种光纤微机电水听器，其特征在于：该水听器由硅基MEMS声压传感微结构与光纤的尾纤（1）两部分组成，所述硅基MEMS声压传感微结构以硅片作基底，硅片正面是热氧化生长的一层氧化硅传感薄膜（3），硅片背面是通过两次反应离子刻蚀形成的直径不同但同轴一体的两个圆柱凹槽，第一次反应离子刻蚀形成以氧化硅传感薄膜（3）为底面的圆柱凹槽，圆柱凹槽侧壁通过氧等离子体清洗掉钝化层，再次通过反应离子刻蚀形成直径较大的圆柱凹槽即尾纤卡槽（2），尾纤（1）通过卡槽（2）与MEMS声压传感微结构实现装卡，由环氧树脂胶（7）粘连固定，尾纤（1）端面与氧化硅传感薄膜（3）之间的空腔构成法布里‑珀罗腔（5），形成法布里‑珀罗干涉实现对声压信号的传感与监测。