发明名称 |
包括热辐射部的半导体芯片及半导体芯片的制造方法 |
摘要 |
本发明提供包括热辐射部的半导体芯片及半导体芯片的制造方法,该半导体芯片包括:半导体基板,包括第一表面和第二表面;集成电路(IC),在半导体基板的第一表面上;以及热辐射部,在半导体基板的第二表面上。该热辐射部包括:在垂直于第二表面的方向上的热辐射图案;和在热辐射图案的上部上的热辐射层。该热辐射图案包括多个凹槽和多个突起,该热辐射层包括金属材料并且具有平坦的上表面。 |
申请公布号 |
CN103545272A |
申请公布日期 |
2014.01.29 |
申请号 |
CN201310293576.7 |
申请日期 |
2013.07.12 |
申请人 |
三星电子株式会社 |
发明人 |
裵钟坤;禹宰赫;姜元植;金成起;金亮孝 |
分类号 |
H01L23/367(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/367(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
弋桂芬 |
主权项 |
一种半导体芯片,包括:半导体基板,包括第一表面和第二表面;集成电路,在所述半导体基板的所述第一表面上;以及热辐射部,在所述半导体基板的所述第二表面上,该热辐射部包括:在垂直于所述第二表面的方向上的热辐射图案,该热辐射图案包括多个凹槽和多个突起,以及在所述热辐射图案的上部上的热辐射层,该热辐射层包括金属材料并且具有平坦的上表面。 |
地址 |
韩国京畿道 |