发明名称 包括热辐射部的半导体芯片及半导体芯片的制造方法
摘要 本发明提供包括热辐射部的半导体芯片及半导体芯片的制造方法,该半导体芯片包括:半导体基板,包括第一表面和第二表面;集成电路(IC),在半导体基板的第一表面上;以及热辐射部,在半导体基板的第二表面上。该热辐射部包括:在垂直于第二表面的方向上的热辐射图案;和在热辐射图案的上部上的热辐射层。该热辐射图案包括多个凹槽和多个突起,该热辐射层包括金属材料并且具有平坦的上表面。
申请公布号 CN103545272A 申请公布日期 2014.01.29
申请号 CN201310293576.7 申请日期 2013.07.12
申请人 三星电子株式会社 发明人 裵钟坤;禹宰赫;姜元植;金成起;金亮孝
分类号 H01L23/367(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I 主分类号 H01L23/367(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 弋桂芬
主权项 一种半导体芯片,包括:半导体基板,包括第一表面和第二表面;集成电路,在所述半导体基板的所述第一表面上;以及热辐射部,在所述半导体基板的所述第二表面上,该热辐射部包括:在垂直于所述第二表面的方向上的热辐射图案,该热辐射图案包括多个凹槽和多个突起,以及在所述热辐射图案的上部上的热辐射层,该热辐射层包括金属材料并且具有平坦的上表面。
地址 韩国京畿道