| 发明名称 |
METHOD OF CORRECTING PHYSICALLY-CONDITIONED ERRORS IN THE MEASUREMENT OF MICROSCOPIC OBJECTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL150726(A) |
申请公布日期 |
2006.10.31 |
| 申请号 |
IL20020150726 |
申请日期 |
2002.07.14 |
| 申请人 |
PDF SOLUTIONS GMBH;MUETEC AUTOMATISIERTE MIKROSKOPIE UND MESSTECHNIKGMBH |
发明人 |
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| 分类号 |
G01B11/02;G01B9/04;G01B15/00;G02B21/00 |
主分类号 |
G01B11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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