发明名称 N-羟基马来海松酸酰亚胺酯缩醛聚合物及其制备方法
摘要 本发明涉及N-羟基马来海松酸酰亚胺酯缩醛聚合物及其合成方法。N-羟基马来海松酸酰亚胺和各种二乙烯基醚化合物在有机溶剂存在下加热反应得到新型的酯缩醛聚合物。此类聚合物易发生酸致分解反应,因此,由此类缩醛聚合物和光产酸剂等一起可组成新型正性感光成像材料,可用于超大规模集成电路加工用光致抗蚀剂(又称光刻胶)以及印刷PS版或CTP版材的成像材料。
申请公布号 CN101812173B 申请公布日期 2014.01.29
申请号 CN200910210501.1 申请日期 2009.11.05
申请人 北京师范大学 发明人 王力元;翟晓晓
分类号 C08G63/685(2006.01)I;C08G63/688(2006.01)I;C08G63/664(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I 主分类号 C08G63/685(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 1.如下通式(I)所示的N-羟基马来海松酸酰亚胺酯缩醛聚合物:<img file="FSB00001122226700011.GIF" wi="1181" he="295" />其数均分子量为3500-9000;R<sub>1</sub>为如下基团的一种:<img file="FSB00001122226700012.GIF" wi="1961" he="518" /><img file="FSB00001122226700013.GIF" wi="619" he="157" />其中R<sub>3</sub>-R<sub>6</sub>各自独立地为H或C<sub>N</sub>H<sub>2N+1</sub>,其中N≤4;以及R<sub>7</sub>为C<sub>N</sub>H<sub>2N+1</sub>或C<sub>6</sub>H<sub>5</sub>,其中N≤4;此时,m=1,R<sub>0</sub>为:-CH<sub>2</sub>CH<sub>2</sub>O-,其中氧与R<sub>1</sub>相连;或者R<sub>1</sub>为<img file="FSB00001122226700014.GIF" wi="253" he="118" />,此时,m=1,R<sub>0</sub>为:-CH<sub>2</sub>-或无基团;或者R<sub>1</sub>为:-CH<sub>2</sub>-,此时,m=0-4,R<sub>0</sub>为:-CH<sub>2</sub>-;或者R<sub>1</sub>为:-CH<sub>2</sub>OCH<sub>2</sub>-,此时,m=1-3,R<sub>0</sub>为:-CH<sub>2</sub>-;R<sub>2</sub>为如下N-羟基马来海松酸酰亚胺基团:<img file="FSB00001122226700015.GIF" wi="558" he="356" />
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