一种氟化氢气体检测装置及方法

摘要

本发明公开了一种氟化氢气体检测装置，包括检测系统和处理系统，检测系统包括采样装置以及F离子测量器，采样装置包括进气管道、进样阀、流量计、氟离子吸收器和吸收液供给装置，氟离子吸收器包括壳体、压力传感器、设置在壳体底部的进气口和出液口，进气管道与壳体的进气口连接，进样阀和流量计依次设置在进气管道上，吸收液供给装置的出液端于壳体顶部与氟离子吸收室连通，F离子测量器包括水槽和氟离子选择电极，氟离子吸收室的出液口伸入水槽内，而氟离子选择电极与处理系统连接。本发明还公开了采用上述装置定量检测氟化氢气体的方法。本发明对GIS设备内部的氟化氢气体的测量灵敏度高，取样量少，不会影响GIS设备的正常运作。

主权项

一种氟化氢气体检测装置，其特征在于，包括检测系统和中央处理系统，所述检测系统包括采样装置以及与中央处理系统连接的F离子测量器，所述采样装置包括进气管道、进样阀、流量计、氟离子吸收器和吸收液供给装置，所述氟离子吸收器具有容纳气体和吸收液的吸收腔室的壳体、设置在壳体底部的进气口和出液口、以及用于检测吸收腔室内压力变化的压力传感器，所述进气管道与壳体的进气口连接，所述进样阀和流量计依次设置在进气管道上，所述吸收液供给装置的出液端于壳体顶部与氟离子吸收室连通，在检测时向氟离子吸收室内提供定量吸收液，所述F离子测量器包括水槽和氟离子选择电极，所述氟离子吸收室的出液口伸入水槽内，用于将含有氟离子的吸收液排至水槽中，而所述氟离子选择电极与中央处理系统连接，将检测信息传送至中央处理系统进行处理。