圆桶型金属有机化学气相沉积反应管

摘要

本发明公开了一种圆桶型金属有机化学气相沉积反应管，它包括桶体，特征是：桶体为左右两端开口的圆桶形状，在桶体内依次套有石墨圆桶、电炉丝圆桶和钼薄板隔热圆桶，在电炉丝圆桶的左右两端分别设置有左隔热钼薄板和右隔热钼薄板，左隔热钼薄板和右隔热钼薄板套装在电极杆上；在桶体内设置有多层喷管，多层喷管由液体冷却管、氨气喷管和金属有机源喷管组成，在桶体的内壁上加工有分别与氨气喷管连接的氨气喷嘴和与金属有机源喷管连接的金属有机源喷嘴，在桶体的内壁上设有排气口。本发明具有既能大规模提高产量、降低产品成本，又能提高生产效率、且石墨表面温度均匀性好、产品合格率高、耗能少的优点。它的产能是目前三种流行的MOVCD大型机的20倍。

主权项

一种圆桶型金属有机化学气相沉积反应管，包括桶体，其特征在于：桶体为左右两端开口的圆桶形状，在桶体的左右两端分别安装有左不锈钢法兰和右不锈钢法兰，在左不锈钢法兰的中间安装有两端均凸出于左不锈钢法兰的磁流体密封轴，磁流体密封轴的左端与电机的输出轴固定连接，设在桶体内的磁流体密封轴的右端与直径小于桶体内径的“匚”形旋转圆板左面的中间固定连接，在桶体内的右端安装有轴承，在轴承的外壁固定有圆环形托块，在“匚”形旋转圆板的外壁和圆环形托块之间固定安装有左右两端开口的石墨圆桶，在石墨圆桶的外表面放置有衬底，左右两端开口的电炉丝圆桶放置于石墨圆桶内，且电炉丝圆桶与石墨圆桶的内壁存有间隙；在石墨圆桶内、电炉丝圆桶的左右两端、“匚”形旋转圆板和轴承之间分别设置有左隔热钼薄板和右隔热钼薄板，在右不锈钢法兰的中间安装有上面加工有若干个电极孔的密封垫，水冷加热电极的右端露在桶体外，水冷加热电极的左端向左穿过电极孔后进入桶体内，左隔热钼薄板和右隔热钼薄板套装在电极杆上，在电炉丝圆桶内的左隔热钼薄板和右隔热钼薄板之间、水冷加热电极的周边分别设置有水平放置、左右两端开口、一层以上的钼薄板隔热圆桶；在空心的桶体内设置有多层喷管，多层喷管由内层的液体冷却管、中间的氨气喷管和外层的金属有机源喷管组成，在桶体的内壁上加工有分别与氨气喷管连接的氨气喷嘴和与金属有机源喷管连接的金属有机源喷嘴，在桶体的内壁上设有一条以上轴向长条形的排气口。