具有线性特征的微电机系统装置

摘要

本发明提供了一种微电机系统装置具有第一组件和第二组件，该第一组件包括具有连接器的传感器元件，第二组件包括梳齿驱动。梳齿驱动具有定子板和转子板，且连接器被配置成将转子板相对于定子板位移，根据转子板的位移提供可变的电容。

主权项

一种微制造可变电容器，包括：定子，其包括彼此间隔开的多个导电板，每一对相邻的导电板之间形成通道，每个所述导电板位于第一公共电连通线路中；转子，其包括中间毂盘和从该毂盘的相反两侧以悬臂的方式延伸的第一和第二臂，第一组多个导电叶片连接至所述第一臂，且第二组多个导电叶片连接至所述第二臂，所述第一组多个和第二组多个叶片中的每个叶片位于第二公共电连通线路中；其中，所述毂盘通过第一和第二弹簧从所述转子悬挂，使得每个所述叶片中被接收在所述通道中的相应一个通道中，且每个所述叶片的一部分与相邻的所述叶片共同作用以存储电荷，且所述第一电连通线路和所述第二电连通线路之间的电容随着所述第一和第二弹簧将所述转子相对于所述定子偏移至不同位置而改变。