热气泡角加速仪

摘要

本发明公开了一种热气泡角加速仪，包含一绝热基板，及一角加速度感测装置。角加速度感测装置，设置于绝热基板上。角加速度感测装置，用于量测绕一转轴的角加速度。角加速度感测装置包含一温度感测元件组，温度感测元件组包含两个温度感测元件、和设置于两个温度感测元件之间的一加热器，其中两个温度感测元件靠近该转轴的两端间的距离大于远离该转轴的两端间的距离。

主权项

一种热气泡角加速仪，包含：一第一绝热基板；以及一第一角加速度感测装置，设置于该第一绝热基板上，用于量测绕一第一轴的角加速度，该第一角加速度感测装置包含至少一温度感测元件组，该温度感测元件组包含两个温度感测元件、和设置于该两个温度感测元件之间的一加热器，其中该两个温度感测元件靠近该第一转轴的两端间的距离大于远离该第一转轴的两端间的距离。