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发明名称 VERFAHREN ZUM AUFKITTEN VON SCHEIBEN
摘要
申请公布号 DE2712521(A1) 申请公布日期 1978.09.28
申请号 DE19772712521 申请日期 1977.03.22
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH 发明人 REGLER,DIETER,DIPL.-CHEM.DR.;MEISSNER,BRUNO;MORITZ,ALFRED
分类号 H01L21/304;B24B37/27;B24B37/34;H01L21/302;H01L21/673;H01L21/68;(IPC1-7):B24B41/06;B24B13/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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