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发明名称
摘要
申请公布号 FR2314811(B1) 申请公布日期 1979.06.22
申请号 FR19760014186 申请日期 1976.05.06
申请人 IBM 发明人
分类号 H01L21/677;B25J15/06;B28D5/00;B65G51/03;(IPC1-7):28D7/04;01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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