| 发明名称 |
一种磁控溅射矩形平面靶材防短路压块 |
| 摘要 |
本实用新型公开了一种磁控溅射矩形平面靶材防短路压块，包括压块主体，所述压块主体上设有安装孔，其特征在于：所述压块主体顶部设有斜坡，压块主体底部设有用于固定矩形平面靶材的阶梯。本实用新型可在现有压块的基础上加工而成，结构简单，制作方便，生产成本低，能保障靶材安装结构的稳定性，并有效防止靶材出现短路故障现象。 |
| 申请公布号 |
CN203403149U |
申请公布日期 |
2014.01.22 |
| 申请号 |
CN201320462254.6 |
申请日期 |
2013.07.31 |
| 申请人 |
广东汉能光伏有限公司 |
发明人 |
赖善春;杜甫;包立强;蒋新波;刘志标;周建;年志刚 |
| 分类号 |
C23C14/35(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种磁控溅射矩形平面靶材防短路压块，包括压块主体，所述压块主体上设有安装孔，其特征在于：所述压块主体顶部设有斜坡，压块主体底部设有用于固定矩形平面靶材的阶梯。 |
| 地址 |
517000 广东省河源市高新技术开发区高新五路 |
