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发明名称
摘要
申请公布号 FR2363219(B1) 申请公布日期 1981.11.27
申请号 FR19770024033 申请日期 1977.08.04
申请人 SIEMENS AG 发明人
分类号 H01L27/04;G05F3/24;H01L21/822;H01L27/02;H01L27/12;H02M7/12;H02M7/21;(IPC1-7):02M7/155;01L27/12;01L23/56 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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