发明名称 | 一种检查装置 | ||
摘要 | 根据本发明,提供了一种适合于当检查部件(5)是否有缺陷(35)时使用的检查装置(1),检查装置(1)包括:串光源(9、17、19、21),其布置成两个或更多的组光源(11a、lib、11c、lid),其中串光源被配置使得每个组光源(11a、lib、11c、lid)能够相对其它(一个或多个)组光源异步地操作以便光能够从不同的方向被异步地引导到部件(5);图像捕获装置(照相机7),其配置为当组光源的每个被点亮时捕获部件(5)的图像,以提供多个图像,每个图像示出从不同方向被照亮的部件(5);处理装置(23),配置为使用所述图像执行算术计算,以便提供在其中能够更容易地识别部件中的缺陷的单个图像。进一步提供检查部件的对应方法以及具有圆顶和漫射器的照明布置。 | ||
申请公布号 | CN103534580A | 申请公布日期 | 2014.01.22 |
申请号 | CN201280018859.4 | 申请日期 | 2012.03.05 |
申请人 | 伊斯梅卡半导体控股公司 | 发明人 | F.克拉维罗;P.阿布里亚;谢耀勇 |
分类号 | G01N21/88(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/88(2006.01)I |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 王岳;胡莉莉 |
主权项 | 一种检查装置,适合于当检查部件是否有缺陷时使用,所述检查装置包括:串光源,其布置成两个或更多的组光源,其中串光源被配置使得每个组光源能够相对其它组光源异步地操作以便光能够从不同的方向被异步地引导到部件;图像捕获装置,其配置为当组光源的每个被点亮时捕获部件的图像,以提供多个图像,每个图像示出从不同方向被照亮的部件;处理装置,配置为使用所述图像执行算术计算,以便提供在其中能够更容易地识别部件中的缺陷的单个图像。 | ||
地址 | 瑞士拉绍德封 |