电容式换能器、其制造方法和被检体信息获取装置

摘要

本发明公开了电容式换能器、其制造方法和被检体信息获取装置。提供了具有宽频带频率特性的电容式换能器。电容式换能器包括具有多种单元的元件，每个单元包括：第一电极；包括第二电极的振动膜，第二电极通过间隙与第一电极相对；以及支持部，支持振动膜以形成间隙。当从振动膜的法线方向看时，多种单元具有不同的、第一电极和第二电极中的一个的面积与间隙的面积的比率。多种单元中的第一电极或第二电极电连接在一起。

主权项

一种电容式换能器，包括具有多种单元的元件，每个单元包括：第一电极；包括第二电极的振动膜，第二电极通过间隙与第一电极相对；以及支持部，支持振动膜以形成间隙，其中，当从振动膜的法线方向看时，多种单元具有不同的、第一电极和第二电极中的一个的面积与间隙的面积的比率，并且其中，多种单元中的第一电极或第二电极电连接在一起。