真空传输制程设备及方法

摘要

本发明公开了一种真空传输制程设备及方法，该真空传输制程设备包括一真空制程腔，该真空制程腔中设有至少一加工装置，所述加工装置具有一加工区域；该真空制程腔的两端分别设有一个或两个进出件腔；每个进出件腔均对应有一传输平台，各传输平台的移动平面相同，并且分别相应于该真空制程腔两端的进出件腔的传输平台交替动作；各进出件腔与该真空制程腔的相对位置使得：各传输平台从相应进出件腔移入该真空制程腔以及从该真空制程腔移回相应进出件腔的移动方向与各传输平台在该真空制程腔中的移动方向垂直。本发明能够实现极高的生产效率。

主权项

1.一种真空传输制程设备，其包括一真空制程腔，该真空制程腔中设有至少一加工装置，所述加工装置具有一加工区域并用于对通过该加工区域的工件进行加工，其特征在于，该真空制程腔的两端分别设有一个或两个进出件腔，该些进出件腔可以在大气状态与真空状态之间切换，每个进出件腔均通过真空阀门与该真空制程腔相连并通过真空阀门隔断大气环境；每个进出件腔均对应有一传输平台，各传输平台的移动平面相同，并且分别相应于该真空制程腔两端的进出件腔的传输平台交替动作，每个传输平台均用于在相应进出件腔中装载工件，然后移入该真空制程腔，然后初次移动通过该加工区域完成对全部工件的半加工，然后反向再次移动通过该加工区域完成对全部工件的完全加工，然后移回相应进出件腔卸载工件；各进出件腔与该真空制程腔的相对位置使得：各传输平台从相应进出件腔移入该真空制程腔以及从该真空制程腔移回相应进出件腔的移动方向与各传输平台在该真空制程腔中的移动方向垂直。