| 发明名称 | 基板的更换装置 | ||
| 摘要 | 本发明的基板载台(20a)，从基板保持具(30a)喷出加压气体以使基板(P1)悬浮，基板搬出装置(93)以基板保持具(30a)的上面(基板装载面)为导引面使基板(P1)沿水平面移动藉此从基板保持具(30a)搬出。接着，预定曝光的另一基板(P2)在进行基板(P1)的搬出动作时，在基板保持具(30a)的上方待机，于基板(P1)的搬出动作完成后被交至基板载台(20a)所具有的数个基板顶起装置(46a)。 | ||
| 申请公布号 | CN103534787A | 申请公布日期 | 2014.01.22 |
| 申请号 | CN201280023704.X | 申请日期 | 2012.05.11 |
| 申请人 | 株式会社 尼康 | 发明人 | 青木保夫 |
| 分类号 | H01L21/027(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/027(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 任默闻 |
| 主权项 | 一种物体更换系统，进行物体保持装置所具有的物体保持构件上所装载的物体的更换，其具备：搬入装置，用以将搬入对象物体搬送至该物体保持构件上方；搬出装置，将装载在该物体保持构件的物体装载面的搬出对象物体，从该物体保持构件上往沿着该物体装载面的方向搬出；物体承接装置，设于该物体保持装置，从该搬入装置承接该搬入对象物体；以及导件，设于该物体保持装置，用以规定引导以该搬出装置搬出的该搬出对象物体的导引面。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||